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阿尔维勒半导体设备用伺服液压站

阿尔维勒半导体设备用伺服液压站

简要描述:阿尔维勒半导体设备用伺服液压站利用伺服电机的可调转速的特性:通过伺服驱动器改变伺服电机的转速

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所属分类:液压油站

更新日期:2024-02-05

厂商性质:生产厂家

详情介绍

阿尔维勒半导体设备用伺服液压站,在半导体封装设备领域,和中科院通过技术合作,安全替代了奥地利EVG公司的气液结合系统,在光刻纳米压冲技术领域里(N12)实现了技术上的突破和超越。为半导体芯片的制造提供均匀压力的同时并将位移最高精度控制在0.75μm,保证了芯片可以发挥更好的性能和更优的能耗,同时将液压动力系统的噪音降至蕞低55dB(A) 。

是独立的液压装置,它按驱动装置(主机)要求供油,并控制油流的方向、压力和流量,它适用于主机与液压装置可分离的各种液压机械下,由电机带动油泵旋转,泵从油箱中吸油后打油,将机械能转化为液压油的压力能。

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